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雙電測四探針測試儀/四探針檢測儀

日期:2025-07-19 14:35
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摘要:

雙電測四探針測試儀/四探針檢測儀/四探針電阻率測試儀/四探針電阻率檢測儀/四探針方塊電阻儀 型號:GR-RTS-5(SDY-5停產(chǎn)替代)

GR-RTS-5型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計算機控制下進行兩次電測量,能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進行動態(tài)的自動修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提高了測量結(jié)果的準確度。所有這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所的儀器是無法實現(xiàn)的。

    GR-RTS-5型雙電測四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
    測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析

技術(shù)參數(shù):

 測量范圍
 電阻率:0.001~200Ω.cm(可擴展);  
 方塊電阻:0.01~2000Ω/□(可擴展);
 電導率:0.005~1000 s/cm
 電阻:0.001~200Ω.cm;
可測晶片厚度
 ≤3mm
可測晶片直徑
 140mmX150mm(配S-2A型測試臺);
 200mmX200mm(配S-2B型測試臺);
 400mmX500mm(配S-2C型測試臺);
恒流源
 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表
 量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
 分辨力:10μV;
 輸入阻抗:>1000MΩ;
 精度:±0.1% ;
 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動顯示;
四探針探頭基本指標
 間距:1±0.01mm;
 針間絕緣電阻:≥1000MΩ;
 機械游移率:≤0.3%;
 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
 探針壓力:5~16 牛頓(總力);
四探針探頭應用參數(shù)
 (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行)
 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機測量大相對誤差
(用硅標樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±4%
整機測量標準不確定度
 ≤4%
計算機通訊接口
 并口
標準使用環(huán)境
 溫度:23±2℃;
 相對濕度:≤65%;
 無高頻干擾;
 無強光直射
;

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