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產品詳情
  • 產品名稱:使用自動橢圓偏振測厚儀 橢圓偏振測厚儀

  • 產品型號:TPY-2
  • 產品廠商:其它品牌
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簡單介紹:
產品特點: TPY-2 型自動橢圓偏振測厚儀采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定波長精度高。 儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件功能齊全,具有多樣數據采集及處理方式,適用于不同用戶的需要。
詳情介紹:
 自動橢圓偏振測厚儀 橢圓偏振測厚儀 型號: TPY-2 
產品特點: 
TPY-2 型自動橢圓偏振測厚儀采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定波長精度高。 
儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件功能齊全,具有多樣數據采集及處理方式,適用于不同用戶的需要。 

TPY-2 型自動橢圓偏振測厚儀規(guī)格與主要技術指標: 
測量范圍:薄膜厚度范圍1nm-4000nm     折射率范圍:1-10    
測量小示值:≤1nm                  入射角:20°- 90°精度≤0.05° 
度盤刻度:每格1度                    允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm 
偏振器步進角:0.014°/步               偏振器方位角范圍:0°- 180°     
測量膜厚和折射率重復性精度分別為:0.5nm和0.005 
儀器測量精度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm時) 
光學中心高度:80mm    

TPY-2 型自動橢圓偏振測厚儀成套性:主機、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件(需配計算機) 
主機重量:26kg    外形尺寸:680*390*310mm
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