產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
電子薄膜應(yīng)力分布測試儀 型號：TRC-6341
該產(chǎn)品主要應(yīng)用在微電子、光電子線上和科研、教學(xué)等領(lǐng)域Si、Ge、GaAs等半導(dǎo)體基片及電子薄膜應(yīng)力分布、光學(xué)零件面形和平整度面形、 基片曲率
詳情介紹：
電子薄膜應(yīng)力分布測試儀 型號：TRC-6341
該產(chǎn)品主要應(yīng)用在微電子、光電子線上和科研、教學(xué)等領(lǐng)域Si、Ge、GaAs等半導(dǎo)體基片及電子薄膜應(yīng)力分布、光學(xué)零件面形和平整度面形、 基片曲率
半徑測量測試。該儀器總測量點數(shù)多, 能給出全場面型分布結(jié)果, 適合于微電子線上產(chǎn)品質(zhì)量的快速檢驗和微電子工藝研究。
儀器基于干涉計量的全場測試原理, 可實時觀測面型的分布, 迅速了解被測樣品的形貌及應(yīng)力集中位置, 及時淘汰早期失效產(chǎn)品。 創(chuàng)的錯位相移技術(shù) |
| 計算機(jī)自動條紋處理 |
| 測試過程全自動 |
| 先進(jìn)的曲面補(bǔ)償測試原理 |
| ≤100mm (4英寸) | |
| |R|≥5米 | |
| 5% | |
| 3分鐘/片 | |
| 面形、曲率半徑、應(yīng)力分布、公式表示、數(shù)據(jù)表格 | |
| 三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示 | |
| AC 220V±10%, 50Hz±5% | |
| 100W | |
| 285mm×680mm×450mm | |
| 36kg |
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QQ：1579845789
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